1、设备基本配置
工业CT检测设备主要由射线源、探测器系统、机械扫描系统、重建及可视化系统等组成。与医用CT不同，大多数工业CT都是根据用户需求进行定制化设计，设备之间的结构、配置、功能特性、技术指标、软件等都同。不同射线源和探测器可组成不同的检测系统，如单源单探(如微焦点射线源+线阵探测器)、双源单探(如常规射线源和加速器射线源+线阵探测器)、双源双探(微焦点射线源和常规射线源+线阵和面阵探测器)等。射线源-机械扫描系统-探测器系统的组合对工业CT系统性能起决定作用，它决定了工业CT检测试件范围及可能获得的信息质量;重建及可视化系统是工业CT系统重要组成部分，它决定了如何在短时间内重建出高质量的CT图像。
2、设备性能指标
工业CT设备总体性能指标主要包括检测试件范围、检测时间、图像质量、缺陷检测能力等。检测试件范围指标包括试件材料、尺寸、重量等;检测时间指标包括扫描及重建时间;图像质量指标包括空间分辨率、密度分辨率、伪像等;缺陷检测能力是指发现气孔、裂纹等缺陷的能力。
工业CT设备总体性能指标是由各子系统的配置和性能指标所决定的，配置不同，功能特性及性能指标也不同。射线源的指标包括射线能量、射线强度、焦点尺寸、剂量稳定性等;探测器指标包括探元尺寸、通道数量、串扰等;数据采集传输系统的指标包括信噪比、稳定性、动态范围、采集速度、一致性等;机械系统指标包括试件范围(重量、尺寸等)、扫描方式(二代、三代或锥束)、扫描轴的定位精度、重复精度等;重建及可视化系统指标包括重建算法、CPU(处理器)运行速度、内存大小、图像处理功能等。另外，工业CT成像质量受射束硬化、散射、扫描及重建参数等多种因素影响，标定、校正和工艺参数选择等对最终的图像质量也有很大影响。
工业CT设备总体性能指标之间通常相互制约，如采用高能直线加速器CT，具有高的射线穿透能力，可以检测高密度及大尺寸试件，但由于其焦点尺寸通常较大，最终空间分辨率和缺陷检测能力相对较差。微纳焦点CT系统通常有很高的空间分辨率，可以发现小缺陷，但只能检测几毫米的小试样。
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