新一代X射线成像系统
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在线式IC半导体 X-RAY DR

为满足工业4.0的高品质和全自动在线检测要求而设计
采用高分辨率碳纳米管X光管与高速平板探测器，配合
高精度运动控制、自动定位和自动缺陷识别等功能。可
应用于IC半导体检测领域，产品实现无需人员干预的尺寸和
缺陷等相关特性的高速自动检测
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在线式IC半导体 X-RAY DR检测设备
在线式IC半导体 X-RAY DR检测设备
在线式IC半导体 X-RAY DR检测设备
在线式IC半导体 X-RAY DR检测设备

专为IC半导体产业设计

适用于各种类型IC半导体
检测的X-RAY检测设备

在线式IC半导体 X-RAY DR检测设备

高度定制化方案针对性解决需求

微米级精确运动控制、自动定位
缺陷自动识别、MES系统对接
在线高速全自动检测
检测时间 < 1s/FOV

在线式IC半导体 X-RAY DR检测设备

高光子效率脉冲式碳纳米管

一体化X射线源+高速
扫描探测器绝佳组合
定制化软件功能 可应用
于多个领域

在线式IC半导体 X-RAY DR检测设备
应用案例&检测效果
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规格参数
  • 系统参数
  • X射线源
  • 探测器
系统参数 灰度等级 14/16bits
标准外形尺寸 2234x2100x1800 mm
整体重量 2900kg
系统夹持范围 50 ~ 550mm
X射线源 工作电压 90~150KV
工作电流 10~150μA
焦点尺寸 3~15μm 可选
光管类型 闭管
探测器 探测器类型 数字平板探测器
像素尺寸 49.5μm 可选配更高级别
像素数量 1300x1152 可选配更高级别
成像面积 64x57mm 可选配更高级别
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