离线式IC半导体微焦点CT检测设备_IC半导体/芯片_一体化微焦点X光射线源检测机-昊志影像

基于碳纳米管场致发射冷阴极的X光管研发与生产技术高品质X射线源平板探测器基于压缩感知理论的迭代CT重建算法可对接业内顶尖的图像后处理分析软件

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离线式IC半导体 X-RAY 微焦点CT

专为IC半导体产业而设计的X-RAY离线式微焦点CT 检测系统，发挥碳纳米管CT球管高分辨率脉冲发射和高亮度的特性，基于压缩感知的迭代CT重建算法。能在短时间内建出多层断层图像包括样品的三维成像，快速，准确的对样品进行建模、分析和检测。

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专为IC半导体产业设计

适用于各种类型半导体
检测的X-RAY检测设备

基于压缩感知的迭代CT重建算法

支持少于50Views角度的
高清晰建像,高精度实时
照射扫描

碳纳米管CT球管X射线源

高分辨率脉冲发射和高亮度的
特性超高速的区域CT扫描和
重建特性，实现了2s内完成特定
区域的扫描及CT建像

应用案例&检测效果

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规格参数

系统参数
X射线源
探测器

系统参数	灰度等级	14/16bits
	系统分辨率	2.5μm
	标准外形尺寸	1325x1010x1650mm
	整体重量	800kg

X射线源	工作电压	90~150KV
	工作电流	10~150μA
	焦点尺寸	3~15μm	可选
	光管类型	闭管

探测器	探测器类型	数字平板探测器
	像素尺寸	49.5μm	可选配更高级别
	像素数量	2304x2940	可选配更高级别
	成像面积	114x146mm	可选配更高级别

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